[发明专利]半导体器件实验流程和生产流程的综合配置、流程及执行系统有效
| 申请号： | 200680049891.3 | 申请日： | 2006-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN101351751A | 公开（公告）日： | 2009-01-21 |
| 发明（设计）人： | C·H·温斯蒂德;R·P·桑卡兰;S·M·塔哈;J·屈;C·穆利 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042;G06Q10/00;G06Q50/00;G05B15/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 柯广华;王忠忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 根据本发明的实施例，综合配置、流程和执行系统(ICFES)可用来规定、控制和记录晶片的半导体器件实验批量和生产批量的处理历史。此外，该系统允许将预先存在的流程框的一个或多个部分流程和特殊处理组合到另一个处理流程框中。可创建包括流程框的批量计划，并且可在处理批量计划之前或期间更新批量计划，以包括部分流程和特殊处理。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体器件 实验 流程 生产流程 综合 配置 执行 系统 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：引用第一预先存在流程框和第二预先存在流程框；以及将第一预先存在流程框的部分流程和第二预先存在流程框的部分流程组合到半导体器件处理将来流程计划，同时保持对第一预先存在流程框和对第二预先存在流程框的引用。
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