[发明专利]半导体器件实验流程和生产流程的综合配置、流程及执行系统

权利要求书

1.一种用于规定、控制和记录半导体器件制造对象的处理历史 的方法，包括：

引用第一预先存在流程框和第二预先存在流程框；以及

将第一预先存在流程框的部分流程和第二预先存在流程框的部 分流程组合到半导体器件处理将来流程计划，同时保持到第一预先存 在流程框和第二预先存在流程框的定义的现场链接而无需将第一预 先存在流程框或第二预先存在流程框的数据复制进将来流程计划。

2.如权利要求1所述的方法，还包括：

创建未决批量计划以处理晶片批量，所述未决批量计划基于所组 合的将来流程计划的框；以及

将特殊过程组合到所述未决批量计划。

3.如权利要求2所述的方法，还包括：

执行所述未决批量计划的一部分以处理晶片批量；

基于已执行部分来创建批量历史；以及

创建活动批量计划，包括组合所述未决批量计划的未执行部分和 所述批量历史。

4.如权利要求3所述的方法，还包括：

在执行所述未决批量计划的一部分期间执行人工越控，

其中所述批量历史包括已执行人工越控。

5.如权利要求3所述的方法，还包括：

在执行期间将所述活动批量计划分成所述晶片批量的第一部分 的第一活动批量计划和所述晶片批量的第二部分的第二活动批量计 划；以及

将特殊过程组合到第二活动批量计划，以使第二活动批量计划不 同于第一活动批量计划。

6.如权利要求5所述的方法，还包括：将第一活动批量计划和 不同的第二活动批量计划一起合并到单个组合活动批量计划中。

7.如权利要求5所述的方法，还包括：在单个显示器上一起显 示第一活动批量计划和不同的第二活动批量计划。

8.如权利要求1所述的方法，其中第一预先存在流程框和第二 预先存在流程框是实验流程框，将来流程计划是生产流程计划，并且 其中引用和组合由单个装置执行。

9.如权利要求8所述的方法，还包括改变引用的第一预先存在 流程框的部分流程，其中改变包括改变将来流程计划。

10.一种用于规定、控制和记录半导体器件制造对象的处理历史 的装置，包括：

用于引用第一预先存在流程框和第二预先存在流程框的部件；以 及

用于将第一预先存在流程框的部分流程和第二预先存在流程框 的部分流程组合到半导体器件处理将来流程计划同时保持到第一预 先存在流程框和第二预先存在流程框的定义的现场链接而无需将第 一预先存在流程框或第二预先存在流程框的数据复制进将来流程计 划的部件。

11.如权利要求10所述的装置，还包括：

用于创建未决批量计划以处理晶片批量的部件，所述未决批量计 划基于所组合的将来流程计划的框；以及

用于将特殊过程组合到所述未决批量计划的部件。

12.如权利要求11所述的装置，还包括：

用于执行所述未决批量计划的一部分以处理晶片批量的部件；

用于基于已执行部分来创建批量历史的部件；以及

用于创建活动批量计划，包括组合所述未决批量计划的未执 行部分和所述批量历史的部件。

13.如权利要求12所述的装置，还包括：

用于在执行所述未决批量计划的一部分期间执行人工越控的部 件，

其中所述批量历史包括已执行人工越控。

14.如权利要求12所述的装置，还包括：

用于在执行期间将所述活动批量计划分成所述晶片批量的第一 部分的第一活动批量计划和所述晶片批量的第二部分的第二活动批 量计划的部件；以及

用于将特殊过程组合到第二活动批量计划，以使第二活动批量计 划不同于第一活动批量计划的部件。