[发明专利]具有可偏转隔板的压力传感器有效
| 申请号： | 200680048317.6 | 申请日： | 2006-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN101341385A | 公开（公告）日： | 2009-01-07 |
| 发明（设计）人： | 马克·斯库马切尔;安德鲁·克罗辛斯基 | 申请（专利权）人： | 罗斯蒙德公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12;G01L13/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈瑞丰 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 用于感应过程流体压力的压力传感器(5G)，包括其中形成有空腔(149)的传感器体(140)。可偏转隔板(150)位于空腔(149)中，响应于施加至空腔的压力而偏转。隔板上的电极(162)与压力传感器体(140)一起形成可变电容器。电容响应于所施加的压力而变化。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 偏转 隔板 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种用于感应过程流体的压力的压力传感器，包括：传感器体，其中形成有空腔；通过过所述空腔延伸进入所述传感器体的压力连接；所述空腔中的可偏转隔板，被配置为响应于通过所述压力连接施加至所述空腔的压力而偏转；所述隔板上的电极，被配置为与压力传感器体一起形成可变电容器，所述可变电容器具有响应于所施加的压力而变化的电容；以及至所述电极的电连接，所述电连接延伸至压力传感器体的外部。
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