[发明专利]光图像测量装置

摘要

本发明提供一种能够实现测量时间的缩短的光图像测量装置。从氙气灯2输出闪光，并利用光学滤光器2A转换成宽频带光。利用偏光板3将闪光转换成直线偏光，并利用半透明反射镜6而分割成信号光S与参照光R。利用波长板7将该参照光R转换成圆偏光，并利用半透明反射镜6来将信号光S与参照光R重叠以生成相干光L。CCD23对特性与相干光L相同的相干光进行检测。相干光L通过偏光分束器11而分成S偏光成分L1与P偏光成分L2后，分别由CCD21及CCD22来检测。计算机30根据来自CCD21、CCD22、CCD23的检测信号，而形成被测定物体0的图像。根据这样的光图像测量装置1，可以同时获取相干光L的两个偏光成分L1和L2，因此可以实现测量时间的缩短。

主权项

1.一种光图像测量装置，其特征在于包括：光输出单元，输出宽频带光；分割单元，将所述输出的宽频带光分割成经过被测定物体的信号光和经过参照物体的参照光；转换单元，对所述信号光或所述参照光的偏光特性进行转换；重叠单元，使具有所述转换后的偏光特性的所述经过被测定物体的信号光及所述经过参照物体的参照光中的一个与另一个重叠，以生成相干光；提取单元，提取所述生成的相干光的不同的两个偏光成分；第一检测单元及第二检测单元，所述第一检测单元对所述提取的两个偏光成分中的一个进行检测并输出第一检测信号，所述第二检测单元对另一个偏光成分进行检测并输出第二检测信号；以及图像形成处理单元，根据由所述第一检测单元及第二检测单元所输出的第一检测信号及第二检测信号，形成所述被测定物体的图像。