[发明专利]可重复热处理的方法和设备有效
| 申请号： | 200680038195.2 | 申请日： | 2006-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN101288035A | 公开（公告）日： | 2008-10-15 |
| 发明（设计）人： | 大卫·玛尔科穆·卡穆;谢尔吉·德茨;凯文·麦克唐奈;格雷戈·斯图尔特;蒂尔曼·斯鲁姆;伊戈·鲁迪克;柳博米尔·卡卢杰尔西克 | 申请（专利权）人： | 加拿大马特森技术有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/19 | 分类号： | G05D23/19;B01J19/12;H01L21/324;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高少蔚;席兵 |
| 地址： | 加拿大不列*** | 国省代码： | 加拿大;CA |
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| 摘要： | 第一种热处理方法包括：监测与配置成产生入射到工件表面上的照射闪光的照射系统关联的至少一个热效率参数，以及根据对热效率参数的监测来自动更新照射系统用来产生照射闪光的控制信息。第二种方法包括：根据表面的加热参数的测量值，预计待照射到工件表面上的照射闪光的加热效果，以及根据所预计的加热效果对照射闪光进行预调节。第三种方法包括：在入射到表面上的照射闪光的初始部分期间测量工件表面的温度，以及根据该温度来控制照射闪光的其余部分的功率。 | ||
| 搜索关键词： | 重复 热处理 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：a)监测与配置成产生入射到工件表面上的照射闪光的照射系统关联的至少一个热效率参数；以及b)根据对所述热效率参数的监测，自动更新所述照射系统用来产生所述照射闪光的控制信息。
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