[发明专利]MEMS谐振器阵列结构及其操作和使用方法有效
| 申请号： | 200680031499.6 | 申请日： | 2006-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN101253685A | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | M·卢茨;A·帕特里奇;潘志宇 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/46;H03H9/24;H03H9/50 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王英 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 以机械方式耦合的MEMS谐振器102a、b、c、d被安排成N×M阵列。每个谐振器都包括拉长梁段106a、b、c、d。每个拉长梁段都通过弯曲段108a、b、c、d在末端连接到另一个拉长梁段，从而形成一个几何形状(例如圆角正方形)。每个谐振器都通过谐振器耦合段104耦合到阵列的至少一个其它相邻谐振器，这个谐振器耦合段104可能布置在相邻谐振器的拉长梁段之间。这些谐振器按照组合的拉长(或呼吸)模式和弯折模式以相同的频率振荡。阵列的谐振器可以包括弯曲段中的波节点114(也就是在谐振器的振荡过程中，谐振器静止的部分)。这些波节点最好是锚定谐振器的位置。 | ||
| 搜索关键词： | mems 谐振器 阵列 结构 及其 操作 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS阵列结构，包括：多个MEMS谐振器，每个MEMS谐振器都包括：多个拉长直梁段，其中每个梁段都包括第一端和第二端；多个弯曲段，其中每个弯曲段都包括第一端和第二端，其中梁段的每一端都与所述弯曲段之一的有关的端连接，从而形成一个几何形状；以及一个或多个谐振器耦合段，其中至少一个谐振器耦合段被布置在相邻MEME谐振器相对的拉长直梁段中的每一个之间。
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