[发明专利]采用静电吸附板的输送装置有效
| 申请号： | 200680029042.1 | 申请日： | 2006-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN101238054A | 公开（公告）日： | 2008-08-06 |
| 发明（设计）人： | 新家英正;高岛健一;高木进 | 申请（专利权）人： | 精炼株式会社 |
| 主分类号： | B65H5/00 | 分类号： | B65H5/00;B65H3/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种廉价的静电吸附输送装置，可高速传送，能够使静电吸附板与薄膜等输送对象物之间的接触状态保持恒定，且输送对象物上不会产生微小缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 静电 吸附 输送 装置 | ||
【主权项】：
1、一种输送装置，具备：在内部具有电极部的静电吸附板、和向该电极部施加电压的电压施加部，利用因由该电压施加部向该电极部施加电压而产生的静电力，对输送对象物进行吸附输送，相对该静电吸附板在输送对象物侧，具备具有多个开口的剥离板，该剥离板，按照其一个表面与该静电吸附板的表面之间重复接触状态与非接触状态的方式被安装，且该静电吸附板的表面相对输送对象物的表面倾斜。
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