[发明专利]采用静电吸附板的输送装置

权利要求书

1、一种输送装置，具备：在内部具有电极部的静电吸附板、和向该电极部施加电压的电压施加部，利用因由该电压施加部向该电极部施加电压而产生的静电力，对输送对象物进行吸附输送，

相对该静电吸附板在输送对象物侧，具备具有多个开口的剥离板，该剥离板，按照其一个表面与该静电吸附板的表面之间重复接触状态与非接触状态的方式被安装，且该静电吸附板的表面相对输送对象物的表面倾斜。

2、根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，剥离板由绝缘材料构成。

3、根据权利要求1或2所述的输送装置，其特征在于，剥离板的孔隙率为50％以上。

4、根据权利要求1～3中任一项所述的输送装置，其特征在于，静电吸附板与输送对象物的表面之间的倾斜角度为1～45度。

5、一种输送方法，重复一系列的操作，即在从重叠的多枚薄膜状输送对象物中对该输送对象物进行输送时，在静电吸附板与剥离板接触的状态下将权利要求1～4中任一项所述的输送装置在该输送对象物上相对该输送对象物表面倾斜配置，对最上部的一枚输送对象物进行静电吸附，并输送至规定位置，使该静电吸附板与该剥离板处于非接触状态，使所输送的输送对象物与该输送装置分离。