[发明专利]采用静电吸附板的输送装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种利用静电力吸附输送薄膜等比较薄的输送对象物的输送装置。

背景技术

在粘合厚度为大约1mm以下的塑料薄膜或布等比较薄的薄膜状材料的作业等中，从收容多枚薄膜状材料的容器等中逐个取出一枚薄膜状材料向作业位置输送的作业，已经在各种领域执行。以往，作为这样的输送机构，公知一种真空卡盘(chuck)输送方式，即采用在平板上的结构体中安装多枚真空卡盘的真空吸附装置，用真空卡盘吸附输送对象物以输送。然而，在该方式中，由于输送对象物为薄膜状很薄，因此恐怕会伤其表面。并且，当输送对象物为具有许多空孔的丝网状薄膜时，存在空气从空孔泄漏，导致吸附困难的问题。

另一方，如实用新型公昭54-41892号公报所公开，有一种静电保持装置，其在绝缘体层上配置多个电极，在其上面重合半导电性的吸附层，并对该电极组施加直流电压，使吸附层上产生静电，通过静电吸引力吸附保持吸附物。如果将该静电保持装置应用于输送，则能够不会对传送对象物产生损害地进行吸附传送，能在半导体晶片或光学玻璃或薄膜等因微小缺陷会大大影响产品的成品率的领域被广泛应用。

有关静电吸附输送方式的吸附方法，在特开2003-282671号公报或特开2004-120921号公报中，公开了一种方法，使一对或者多对电极以细微的间距邻接，并施加且控制相互为相反极性的电压，从而仅使多枚层叠的输送对象物的最上面的一枚能够高效浮上或者吸附。

另外，有关静电吸附输送方式中的输送对象物的剥离方法，在特公平6-71944号公报中公开了一种方法，施加电压中采用直流以及交流电源，使电源切断后输送对象物的残留带电迅速减少，从而使输送对象物从吸附板迅速脱离。

进而，特开2003-285289号公报中公开了一种方法，在具有柔性且在底部表面上形成凹凸的绝缘部件上配置电极，实现在吸附时或剥离时输送对象物的位置精度的提高。

然而，在特开2003-282671号公报或特开2004-120921号公报所公开的方法中，需要一种用于随时对施加电压进行最佳控制的控制部，其结果为，与恒定施加电压方式的静电吸附装置相比，装置变得昂贵。

另外，根据在特公平6-71944号公报所公开的实施例，在输送对象物从吸附板脱离的脱离时间为数秒，要求高速输送的使用领域，输送效率存在问题。进而，在特开2003-285289号公报中公开的方法中，由于采用柔性吸附板，因此吸附板与输送对象物之间的接触状态并非恒定，在吸附·剥离时，吸附板对输送对象物的压接会出现偏差，对于因微小缺陷会对成品率产生很大影响的产品来说，存在擦伤、压伤、质地变化(textureoffsetting)等的倾向。

发明内容

本发明的目的在于解决上述以往的输送装置存在的问题，提供一种尤其能实现高速输送，且能够将静电吸附板与薄膜状输送对象物之间的接触状态维持恒定，不会使输送对象物上产生微小缺陷等，并且廉价的静电吸附装置。

本发明的输送装置，具备：在内部具有电极部的静电吸附板、和向该电极部施加电压的电压施加部，利用因由该电压施加部向该电极部施加电压而产生的静电力，对输送对象物进行吸附输送，其特征在于，相对该静电吸附板在输送对象物侧，具备具有多个开口的剥离板，该剥离板，按照其一个表面与该静电吸附板的表面之间重复接触状态与非接触状态的方式被安装，且该静电吸附板的表面相对输送对象物的表面倾斜。

本发明中，优选剥离板由绝缘材料构成。并且，优选剥离板的孔隙率(percentage of voids)为50％以上。

进而，优选静电吸附板相对输送对象物的表面的倾斜角度为1～45度。

发明效果

根据本发明，在吸附阶段，如果静电吸附板执行相对输送对象物保持角度进行吸附的操作，则即使在恒定施加电压条件下，也能够高效地吸附多枚层叠的对象物中仅最上部的一枚。

另外，在剥离阶段，通过使剥离板的表面与静电吸附板的表面隔开，从而能够使对输送对象物产生的静电吸附力充分降低，能够使输送对象物迅速剥离。此外，在消除静电吸附力时能够防止以往那样的擦伤、碰伤、质地变化等缺陷的产生，进一步提高定位精度。

附图说明

图1为表示本发明的静电吸附输送装置的一例的俯视图以及侧视图中对输送对象物进行吸附或者输送的状态。

图2为表示本发明的静电吸附输送装置的一例的侧视图中对输送对象物进行剥离的状态，图2(A)为剥离板旋转与静电吸附板脱离的例子，图2(B)为静电吸附板向上方滑动，与剥离板脱离的例子。