[发明专利]包括反对称最优控制型流量比率控制器的输气方法和系统有效
| 申请号: | 200680013106.9 | 申请日: | 2006-04-20 |
| 公开(公告)号: | CN101164029A | 公开(公告)日: | 2008-04-16 |
| 发明(设计)人: | 丁军华;J·A·史密斯;K·H·扎卡尔 | 申请(专利权)人: | MKS仪器公司 |
| 主分类号: | G05D11/13 | 分类号: | G05D11/13 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 蔡胜利 |
| 地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | 公开了用于气体输送系统的一种反对称最优控制算法,该系统包括流量比率控制器(106),用于将单个质量流分入至少两个流体管线。每个流体管线包括流量计(124)和阀(126)。流量比率控制器的两个阀通过比率反馈环由反对称最优控制器来控制,所述控制器包括单输入单输出SISO控制器、反相器和两个线性饱和器。SISO控制器的输出在施加给两个阀之前被分流和调整。两个阀控制命令实际上相对于最大允许阀传导率位置是反对称的。由于这两个阀经过各自的线性饱和器,其中最大允许阀传导率位置是两个饱和极限之一,合成效果在于,一个阀在任意时间保持在最大允许阀传导率位置,而另一个阀被主动控制以维持流量比率。 | ||
| 搜索关键词: | 包括 对称 最优 控制 流量 比率 控制器 方法 系统 | ||
【主权项】:
1.一种用于将单个质量流分成两个或更多次级流的系统,包括:(A)入口,所述入口适于接收所述单个质量流;(B)至少两个次级流体管线,它们连接至所述入口,并连接成承载对应的所述次级流,每个流体管线包括:(1)流量计,所述流量计被连接成测量通过对应的流体管线的流量,并且提供表示通过所述流体管线的测量的流量的信号;(2)阀,所述阀被连接成基于控制信号而控制通过所述对应的流体管线的流量;(C)控制器,所述控制器连接至所述流量计和所述阀,用于控制所述次级流量比率;其中,所述控制器被构造成提供在所述次级流体管线中的质量流的反对称最优控制,以将所述次级流量比率维持在预选值。
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