[发明专利]包括反对称最优控制型流量比率控制器的输气方法和系统有效
| 申请号: | 200680013106.9 | 申请日: | 2006-04-20 |
| 公开(公告)号: | CN101164029A | 公开(公告)日: | 2008-04-16 |
| 发明(设计)人: | 丁军华;J·A·史密斯;K·H·扎卡尔 | 申请(专利权)人: | MKS仪器公司 |
| 主分类号: | G05D11/13 | 分类号: | G05D11/13 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 蔡胜利 |
| 地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 包括 对称 最优 控制 流量 比率 控制器 方法 系统 | ||
1.一种用于将单个质量流分成两个或更多次级流的系统,包括:
(A)入口,所述入口适于接收所述单个质量流;
(B)至少两个次级流体管线,它们连接至所述入口,并连接成承载对应的所述次级流,每个流体管线包括:
(1)流量计,所述流量计被连接成测量通过对应的流体管线的流量,并且提供表示通过所述流体管线的测量的流量的信号;
(2)阀,所述阀被连接成基于控制信号而控制通过所述对应的流体管线的流量;
(C)控制器,所述控制器连接至所述流量计和所述阀,用于控制所述次级流量比率;
其中,所述控制器被构造成提供在所述次级流体管线中的质量流的反对称最优控制,以将所述次级流量比率维持在预选值。
2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,还包括SISO控制器,所述控制器被连接成产生第一控制信号,所述第一控制信号为所预选的流量比率与所测量的流量比率之差的函数;和一对线性饱和器,每个饱和器分别用于对应的次级流体管线,所述饱和器被构造成响应于所述第一控制信号而提供阀控制信号,用以控制每个阀。
3.根据权利要求2所述的系统,其特征在于,还包括反相器,所述反相器被构造成将所述第一控制信号反相以提供反相控制信号,以及叠加点,所述叠加点用于结合所述反相控制信号和固定的偏置信号,从而提供第二控制信号,由一个所述线性饱和器所提供的一个所述阀控制信号为所述第二控制信号的函数。
4.一种控制流量比率控制器的次级流体管线中的两个阀从而控制通过所述次级流体管线的流量比率的方法,所述方法包括:
在所述次级流体管线中采用质量流的反对称最优控制,用以将所述次级流量比率维持在预选值。
5.一种用于将单个质量流分成两个或多个次级流的系统,包括:
(A)入口,所述入口适于接收所述单个质量流;
(B)至少两个次级流体管线,它们连接至所述入口,并连接成承载对应的所述次级流,每个流体管线包括:
(1)流量计,所述流量计连接成测量通过所述对应的流体管线的流量,并且提供表示通过所述流体管线的测量的流量的信号;
(2)阀,所述阀连接成基于控制信号而控制通过所述对应流体管线的流量;
(C)控制器,所述控制器连接至所述流量计和所述阀,用于将所述次级流量比率控制在预选值;
其中,所述控制器被构造使得所述阀中的至少一个阀保持处于最优阀电流,其提供了在任一操作时间的最大允许阀传导率位置,而另一个阀被主动控制以将所述流量比率维持在预选值。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,还包括SISO控制器,所述控制器被连接成产生第一控制信号,所述第一控制信号为所预选的流量比率与所测量的流量比率之差的函数;和一对线性饱和器,每个饱和器分别用于对应的次级流体管线,所述饱和器被构造成响应于所述第一控制信号而提供阀控制信号,用以控制每个阀。
7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,还包括反相器,所述反相器被构造成将所述第一控制信号反相以提供反相控制信号,以及叠加点,所述叠加点用于结合所述反相控制信号和固定的偏置信号,从而提供第二控制信号,由一个所述线性饱和器所提供的一个所述阀控制信号为所述第二控制信号的函数。
8.一种控制流量比率控制器的次级流体管线中的两个阀从而控制通过所述次级流体管线的流量比率的方法,所述方法包括:
将所述阀中的至少一个阀维持在最优位置,其在任一操作时刻给出了最大允许阀传导率位置,同时主动控制另一个阀以将所述流量比率维持在预选值。
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