[发明专利]电极工具及其制造方法无效
| 申请号： | 200680011081.9 | 申请日： | 2006-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN102017236A | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 冈宫秋雄;臼井本基;根建昌宣 | 申请（专利权）人： | 美蓓亚株式会社 |
| 主分类号： | H01M4/02 | 分类号： | H01M4/02 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 林柏楠;刘金辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及制造电极工具的方法，该方法与传统电极工具制造方法相比，提高了工具导电图案的精度和质量，随之改进了加工后的沟槽图案的质量，延长了工具寿命并减少了制造工艺数。更具体地，提供电极坯，并通过气相沉积或气相沉积聚合对电极坯的加工表面施用薄膜绝缘树脂涂层。然后通过蚀刻之类的方法容易地从电极坯的部分加工表面上去除薄膜绝缘树脂涂层，由此形成预定的导电图案表面部分，而不需要耗时和昂贵的深雕刻机械加工和附加加工。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 工具 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
制造电极工具的方法，包括：提供由导电材料形成的电极坯；通过气相沉积或气相沉积聚合之一对电极坯的加工表面施用薄膜绝缘树脂涂层；和从电极坯的部分加工表面上去除薄膜绝缘涂层，以形成导电图案。
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