[发明专利]测试装置、测试方法、及测试控制程序

摘要

以减少测试控制所必需的中央处理装置的数目，降低半导体测试装置的故障率为目的，提供一种测试装置，其具有进行多个被测器件的测试的多个测试模块和根据被指定的工作模式，控制多个测试模块的测试动作的中央处理装置；在该测试装置中，中央处理装置，在指定的工作模式是通过多个测试模块同时并行进行同一测试的并行测试模式时，通过执行预先确定的一个测试用过程，来控制多个测试模块的每个中的测试动作，另一方面，在指定的工作模式是通过每个测试模块以独立执行相互不同的测试的独立测试模式时，通过每个测试模块边转换边执行多个该测试用过程以并行控制所述多个测试模块。

主权项

1.一种测试装置，是测试多个被测器件的测试装置，其特征在于包括：连接到所述多个被测器件，进行该当多个被测器件的测试的多个测试模块、根据被指定的工作模式，控制所述多个测试模块的测试动作的中央处理装置；所述中央处理装置，在所指定的所述工作模式是通过所述多个测试模块同时并行进行同一测试的并行测试模式的情况下，通过执行预先确定的一个测试用过程，来控制所述多个测试模块的每个中的测试动作，在所指定的所述工作模式是通过所述多个测试模块的每一个，独立进行相互不同的测试的独立测试模式的情况下，对每个测试模块执行控制该测试模块的测试用过程，通过边切换边执行多个该当测试用过程，并行控制所述多个测试模块。