[发明专利]测试装置、测试方法、及测试控制程序

说明书

技术领域

本发明涉及测试装置、测试方法、及测试控制程序。本发明尤其涉及通过由中央处理装置执行的测试用过程，来测试被测器件的测试装置、测试方法、及测试控制程序。

本发明与下列日本申请有关，对于承认根据文献参照而插入的指定国而言，通过参照将下述日本国申请所记载的内容插入到本申请中，作为本申请记载的一部分。

特愿2005-084576号  申请日2005年3月23日

背景技术

过去，使用具有测试多个被测器件的多个测试模块的半导体测试装置。该半导体测试装置具有分别对应多个测试模块的多个中央处理装置，每个测试模块，接受与该当测试模块对应而设置的中央处理装置的控制，这样，由于多个被测器件同时并行测试，可以提高测试效率。

目前，尚未确认先前公知文献的存在，因此省略其相关的记载。通常，作为通用部品，能够比较廉价购到的中央处理装置具有20年到30年的MTBF(平均无故障间隔Mean Time Between Failure)，这样，中央处理装置无论采用单个还是5个以下的较少数的多个，都有足够长的时间。但是，通过1台半导体测试装置，同时并行进行测试的、作为测试对象的器件数，有时达到数百个的程度，即使可以通过一个测试模块来进行多个器件的测试，也需要至少100个左右的中央处理装置。

例如，在半导体测试装置上设置100个中央处理装置的情况下，这些中央处理装置整体的MTBF成为2000小时到3000小时程度的时间。这再加上半导体测试装置的其他部分的故障率考虑，不能说是足够大。即，通过该构成，半导体测试装置的故障率将上升，有时其实用性会成为问题。另一方面，近年的中央处理装置充分的低价格高功能化，一个中央处理装置控制一个测试模块，其中央处理装置的处理能力也有剩余。

发明内容

为此，本发明的目的在于，提供一种能够解决上述技术问题的测试装置、测试方法、以及测试控制程序。其目的是通过在权利要求范围中的独立权利要求所述的特征组合来达成的。另外，从属项规定了本发明更有利的具体例。

为了解决上述课题，本发明的第1方案提供一种测试装置，是测试多个被测器件的测试装置，包括，连接到所述多个被测器件，进行该多个被测器件的测试的多个测试模块、和根据被指定的工作模式，控制所述多个测试模块的测试动作的中央处理装置；所述中央处理装置，在指定的所述工作模式是通过所述多个测试模块同时并行进行同一测试的并行测试模式时，通过执行预先确定的一个测试用过程，来控制所述多个测试模块的每个中的测试动作，在指定的所述工作模式是通过所述多个测试模块的每一个，独立进行相互不同的测试的独立测试模式时，对每个测试模块执行控制该测试模块的测试用过程，且通过一边转换一边执行多个该测试用过程以并行控制所述多个测试模块。

另外，所述多个测试模块的每一个，在受到对应的测试用过程的控制时，进行根据该控制内容的测试动作，

所述中央处理装置在被指定的所述工作模式是所述独立测试模式时，在第1所述测试模块及第2所述测试模块都在等待对应的测试用过程的控制的状态中，可以让对应所述第1测试模块的第1所述测试用过程的执行，优先于对应所述第2测试模块的第2所述测试用过程的执行而先完成，以所述第1测试模块进行测试动作的状态，来控制第2所述测试模块。

另外，所述中央处理装置，在所述第1测试用过程存取所述第1测试模块而处于等待状态之间时，可以代替所述第1测试用过程以执行所述第2测试用过程。

所述中央处理装置，在所述第1测试用过程存取所述第1测试模块结束时，代替所述第2测试用过程的执行，再开始所述第1测试用过程的执行。

另外，本发明的第2方案提供一种测试方法，是通过测试多个被测器件的测试装置，来测试所述多个被测器件的测试方法，所述测试装置包括，连接到所述多个被测器件，进行该当多个被测器件的测试的多个测试模块、根据被指定的所述工作模式，控制所述多个测试模块的测试动作的中央处理装置、通过所述中央处理装置，在指定的所述工作模式是通过所述多个测试模块同时并行进行同一测试的并行测试模式时，通过执行预先确定的一个测试用过程，来控制所述多个测试模块的每个中的测试动作，在被指定的所述工作模式，是根据所述多个测试模块的每一个，独立执行相互不同的测试的独立测试模式时，对每个测试模块执行控制该当测试模块的测试程序，通过一边转换一边执行多个该当测试用过程，以并行控制所述多个测试模块。