[发明专利]等离子体及其使用方法有效
| 申请号： | 200680006366.3 | 申请日： | 2006-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN101495262A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 彼得·J·莫理斯罗 | 申请（专利权）人： | 魄金莱默有限公司 |
| 主分类号： | B23K9/00 | 分类号： | B23K9/00;B23K10/02;H01L21/306;H01L21/336;H01L21/00;G01J3/30 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 这项发明揭示等离子体装置和在分析测试中使用这样的等离子体装置的方法。在特定的例子中，低流量等离子体可以使用小于每分钟大约五公升的总氩气流量操作，而且在一些实施方案中，等离子体氩气流量小于大约每分钟四公升。在其它的例子中，揭示使用电感和电容耦合产生的等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种使用小于每分钟大约五公升的总氩气流量维持的等离子体。
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