[实用新型]绝缘介质表面类金刚石薄膜的沉积装置

摘要

本实用新型涉及绝缘介质表面类金刚石薄膜的沉积装置，绝缘介质为隔断的两个对称的真空室上均装有排气口，真空室内分别装有高压电极和地电极，绝缘介质置于高压电极和地电极之间，且与高压电板面接触，与地电极之间留有间隙，装有高压电极的真空室上的排气口上装有截止阀，装有地电极的真空室上开有入气孔。本实用新型利用介质阻挡放电等离子体沉积薄膜，具有其独特的优势：如放电方式简单，设备成本低；放电室气体间隙小(通常几毫米)，气体体积小，气体流量低；能耗低等。本实用新型特别是适用于玻璃、聚酯、石英介质，可在这些介质上进行薄膜沉积。

主权项

1、绝缘介质表面类金刚石薄膜的沉积装置，其特征是：绝缘介质(1)为隔断的两个对称的真空室(6)上均装有排气口(7)，真空室内分别装有高压电极(2)和地电极(3)，绝缘介质置于高压电极和地电极之间，且与高压电板面接触，与地电极之间留有间隙，装有高压电极的真空室上的排气口上装有截止阀(7)，装有地电极的真空室上开有入气孔(9)。