[实用新型]基于法拉第旋光效应的位移和角度同时测量的干涉系统无效
| 申请号： | 200620140183.8 | 申请日： | 2006-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN200972385Y | 公开（公告）日： | 2007-11-07 |
| 发明（设计）人： | 陈本永;杨涛;钟挺;孙政荣;张丽琼 | 申请（专利权）人： | 浙江理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B9/02 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 林怀禹 |
| 地址： | 310018浙江省杭州市江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了基于法拉第旋光效应的位移和角度同时测量的干涉系统。双频激光器发出的正交线偏振光经第一分束镜分成参考和测量光束两路，参考光束经第一检偏器拍频后接第一探测器；测量光束再次被第二分束镜分成透射和反射光束两路，透射光束经一个基于法拉第旋光效应的入射光原路返回装置后入射置于被测物体上的测量平面镜，反射光束经平面反射镜反射后入射同样结构的另一个基于法拉第旋光效应的入射光原路返回装置，出射后入射置于被测物体上的同一测量平面镜；入射和出射两个基于法拉第旋光效应的入射光原路返回装置中的两路光束相互平行。它实现了高精度、大范围的位移和角度同时测量，适用于纳米、微光机电、集成电路芯片制造和生物技术领域的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 法拉第 效应 位移 角度 同时 测量 干涉 系统 | ||
【主权项】：
1.一种基于法拉第旋光效应的位移和角度同时测量的干涉系统，其特征在于：双频激光器(1)发出的正交线偏振光经第一分束镜(2)分成参考光束和测量光束两路，参考光束经第一检偏器(3)拍频后接第一探测器(4)；测量光束再次被第二分束镜(5)分成透射光束和反射光束两路，透射光束经一个基于法拉第旋光效应的入射光原路返回装置后入射置于被测物体上的测量平面镜(17)，反射光束经平面反射镜(6)反射后入射同样结构的另一个基于法拉第旋光效应的入射光原路返回装置，出射后入射置于被测物体上的同一测量平面镜(17)；入射和出射两个基于法拉第旋光效应的入射光原路返回装置中的两路光束相互平行。
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