[实用新型]一种接地护罩无效
| 申请号： | 200620134706.8 | 申请日： | 2006-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN200996040Y | 公开（公告）日： | 2007-12-26 |
| 发明（设计）人： | J·W·蒂勒;A·苏布拉马尼;M·S·考克斯;K·A·米勒 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本实用新型通常提供一种接地护罩，其用于物理气相沉积(PVD)室中。在一个实施例中，接地护罩包括一个大致呈圆柱形的主体，其包含外壁、内上壁、内下壁(所具有的直径小于所述内上壁的直径)和凹角特征，该凹角特征连接所述上壁和所述内下壁。所述凹角特征有利地防止所述护罩和目标之间形成电弧，这促使在较长的室组件运行寿命中进行的操作具有较强的一致性和可重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接地 护罩 | ||
【主权项】：
1.一种接地护罩，其特征在于包括：大致圆柱形主体，其包括：外壁；内上壁；内下壁，其所具有的直径小于所述内上壁的直径；和凹角特征，其连接所述上壁和所述内下壁。
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