[实用新型]晶圆片的支撑转盘模块

摘要

本实用新型是一种晶圆片的支撑转盘模块，包括一圆形盘体，其表面上设有至少二槽沟，各该二槽沟彼此间隔一定距离且沿该圆形盘体的外周缘走向设置，其二侧边分别设有一第一嵌合部；至少二叉体，其一端二侧边分别设有一第二嵌合部，在插入各该二槽沟中时，该第一嵌合部恰可与该第二嵌合部相嵌合，且将各该二叉体的一端稳固地夹持住，其另一端则伸出该圆形盘体外，以支撑至少一晶圆片；至少一压板，其足以压紧在该圆形盘体表面的各该二槽沟上，使各该压板可稳固地将各该二叉体的一端压抵在该圆形盘体的各该二槽沟中，并保持在同一平面；如此，当各该二叉体经由该圆形盘体旋转从一位置移至另一位置时，该晶圆片即可平稳地被放置在该另一位置处。

主权项

1、一种晶圆片的支撑转盘模块，其特征在于，包括：一圆形盘体，其表面上设有至少二槽沟，各该二槽沟彼此间隔一定距离且沿该圆形盘体的外周缘走向设置，各该二槽沟的二对应侧边分别设有一第一嵌合部，该圆形盘体上并设有一中心轴孔；至少二叉体，各该二叉体的一端二对应侧边分别设有一第二嵌合部，其一端在插入各该二槽沟中时，该第一嵌合部恰可与该第二嵌合部相嵌合，并将各该二叉体的一端稳固地夹持住，其另一端则伸出该圆形盘体外，以支撑至少一晶圆片；及至少一压板，各该压板的形状及大小系足以压紧在该圆形盘体表面的各该二槽沟上，使各该压板可稳固地将各该二叉体的一端压抵在该圆形盘体上的各该二槽沟中。