[实用新型]一种灯丝引出杆绝缘结构无效
| 申请号： | 200620113059.2 | 申请日： | 2006-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN2922114Y | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | 伍三忠;戴习毛;唐景庭;刘仁杰 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种离子注入机的离子源，特别涉及一种长寿命离子源的灯丝引出杆绝缘结构，属于半导体器件制造领域；针对现有长寿命离子源技术中灯丝引出杆电位高、绝缘体容易受高温离子溅射而污染的问题，提出了一种灯丝引出杆绝缘结构，满足离子源的高可靠性及长使用寿命要求，在一绝缘块3上固定连接有一灯丝引线铜杆1，其间设有密封圈2，在灯丝引线铜杆1四周设有通入冷却水的灯杆水冷套4，结构紧凑稳定可靠，具有抗热变形、抗高温腐蚀性能好特点；结构连接操作方便；绝缘及防污染爬电性能优越，可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灯丝 引出 绝缘 结构 | ||
【主权项】：
1.一种灯丝引出杆绝缘结构，其特征在于：在一绝缘块(3)上固定连接有一灯丝引线铜杆(1)，其间设有密封圈(2)，在灯丝引线铜杆(1)四周设有通入冷却水的灯杆水冷套(4)。
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