[实用新型]水冷等离子淋浴器的送气系统无效

专利信息
申请号: 200620113050.1 申请日: 2006-04-24
公开(公告)号: CN2914323Y 公开(公告)日: 2007-06-20
发明(设计)人: 彭立波;文超;何科峰;邱小莎 申请(专利权)人: 北京中科信电子装备有限公司
主分类号: H01L21/265 分类号: H01L21/265;H01L21/425;C30B31/22;H01J37/317;H05H1/00;H05F3/04
代理公司: 北京中海智圣知识产权代理有限公司 代理人: 曾永珠
地址: 100036北京市海淀区复兴路*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型公开了一种水冷等离子淋浴器的送气系统,该系统包括一个气瓶、四个气动阀、两个压力表、一个调压阀、一个过滤器、一个质量流量计。本实用新型结构简单,能保证送气气体的气压恒定,采用气动阀控制气路通断,精密质量流量计控制气流,且设置有氮气口和真空接口,可实现对送气管路的净化清洗。各接口采用高洁净的不锈钢金属密封接头,确保所送气体的高纯度,安全可靠性高,安装调试简单。
搜索关键词: 水冷 等离子 淋浴器 送气 系统
【主权项】:
1.一种水冷等离子淋浴器的送气系统,其特征在于:包括一个气瓶、四个气动阀、两个压力表、一个调压阀、一个过滤器、一个质量流量计;其中所述的气瓶是气体容器,装有供等离子淋浴器工作的高压气体;该气瓶连接一个气动阀,该气动阀控制气瓶气体的通断;所述气动阀连接一个压力表,该压力表显示气瓶的气体压力;所述压力表后面连接一个调压阀,该调压阀调节主气路中的气体压力;所述压力表和调压阀之间连接一个气动阀,该气动阀装在氮气旁路上,控制旁路上用于清洗管路的氮气开关;所述调压阀后连接一个压力表,该压力表显示经过调压阀后管路中气体的压力;所述压力表后连接一个过滤器,该过滤器对通过的气体过滤;所述压力表和过滤器之间连接一个气动阀,该气动阀是在主气路与抽真空设备间的阀门,抽真空时,气动阀开;所述过滤器后面连接一个气动阀,该气动阀控制送气气路与离子淋浴枪的通断;所述气动阀后面连接质量流量计,该质量流量计控制流入离子淋浴器的气流大小。
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