[实用新型]高耐水特性的高分子电阻型薄膜湿敏元件

摘要

本实用新型公开了一种高耐水特性的高分子电阻型薄膜湿敏元件。它具有微晶玻璃片基体，在微晶玻璃片基体表面上蒸发、光刻有多对叉指金电极，在叉指金电极上连接有引线，在微晶玻璃片基体和叉指金电极表面上涂覆有感湿膜，感湿膜为含硅阳离子电解质自聚物。微晶玻璃片基体表面上蒸发、光刻有8～16对叉指金电极，叉指金电极的叉指宽度为20～80μm，叉指间隙为40～80μm，每个叉指长度为2～3mm，电极尺寸为6mm×5mm×0.5mm。本实用新型制备方法简单，成本低，尤其适用于批量生产。所制备的湿敏元件具有宽湿度量程，灵敏度高，响应线性度好，尤其有高耐水特性，可广泛应用于过程及环境湿度的精确测量与控制。

主权项

1.一种高耐水含硅阳离子电解质自聚物电阻型薄膜湿敏元件，其特征在于：它具有微晶玻璃片基体(1)，在微晶玻璃片基体表面上蒸发、光刻有多对叉指金电极(2)，在叉指金电极上连接有引线(4)，在微晶玻璃片基体和叉指金电极表面上涂覆有感湿膜(3)，感湿膜(3)为含硅阳离子电解质自聚物。