[实用新型]硅微机械自谐振传感装置无效
| 申请号： | 200620041243.0 | 申请日： | 2006-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN2890992Y | 公开（公告）日： | 2007-04-18 |
| 发明（设计）人： | 刘英明;王向朝 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02F1/35 | 分类号： | G02F1/35;G02F1/00;G02B6/42 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种硅微机械自谐振传感装置，包括光源，沿光源发射光前进方向同光轴地依次置放通过保偏光纤与光源连接的准直器、偏振变换器、参考平板与谐振器。光源为半导体激光器。光源的工作电流通过直流电源控制，使得光源的光注入光强调制度最大，光源的输出光强与谐振器的形变相互影响，动态变化，使得谐振器达到自谐振状态。本实用新型装置的优点是不需要高精度的F－P干涉腔，不易受外界干扰，不需要特殊装置稳定谐振状态，容易实现自谐振。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 谐振 传感 装置 | ||
【主权项】：
1、一种硅微机械自谐振传感装置，它包括带有直流电源(7)的光源(1)，其特征在于还有：沿该光源(1)发射光前进方向同光轴地依次置放通过保偏光纤(2)与光源(1)连接的准直器(3)、偏振变换器(4)、参考平板(5)和谐振器(6)，一封装在光源(1)内部的光电转换器(8)的输出端经前置放大器(9)与监视器(10)相连。
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