[实用新型]适用于玻璃基板的光阻清除设备无效
| 申请号： | 200620014609.5 | 申请日： | 2006-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN200989996Y | 公开（公告）日： | 2007-12-12 |
| 发明（设计）人： | 黄荣龙;何政贤;张筱仪 | 申请（专利权）人： | 群康科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型揭露一种适用于玻璃基板的光阻清除设备，该光阻清除设备包括一反应室、一传送机构及一空气内循环系统。该反应室具有一入口、一出口及一吸气口；该传送机构设置在该反应室中，用于带动玻璃基板由入口进入，经反应室再由出口送出。该空气内循环系统包括多个风刀及一抽气泵，该多个风刀设置在该反应室的内侧入口及出口的上方及下方，该抽气泵与该反应室的吸气口及风刀连通，用于将该反应室内的空气抽出，再经风刀送入反应室中，吹向传送中的玻璃基板。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 玻璃 清除 设备 | ||
【主权项】：
1.一种适用于一玻璃基板的光阻清除设备，其包括：一反应室，该反应室具有一入口、一出口及一吸气口；一传送机构，该传送机构设置在该反应室中，用于带动玻璃基板由入口进入，经反应室再由出口送出；多个风刀，该多个风刀设置在该反应室的内侧入口及出口的上方及下方；一抽气泵，该抽气泵与该反应室的吸气口及风刀连通，用于将该反应室内的空气抽出，再经风刀送入该反应室中，吹向传送中的玻璃基板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于群康科技(深圳)有限公司，未经群康科技(深圳)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200620014609.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：车辆起步控制装置和方法
- 下一篇：便携式摩托车伸缩雨伞
