[发明专利]用直流辉光放电在细长金属管内壁沉积类金刚石膜的方法

摘要

本发明属于低温等离子体物理与化学领域中的材料表面改性技术，公开了一种利用直流辉光等离子体在细长金属管内表面沉积类金刚石薄膜的方法和装置。其特征是：采用同轴电极Pa的气压下，利用几千伏的直流恒定高Pa－10³电压在细长金属管内产生稳定的圆筒状直流辉光等离子体，管内产生的圆筒状直流辉光等离子体的长度通过电压源电压进行控制，从而在整个细长金属管内表面沉积类金刚石薄膜。本发明效果和益处是可以在直径5mm以上，长度5mm－2000mm的金属管表面均匀地沉积类金刚石薄膜，由于采用几千伏稳恒直流电压源且对真空度要求不高，设备成本低，使用和维护方便。

主权项

1.一种用直流辉光放电在细长金属管内壁沉积类金刚石膜的方法，其特征是：在细长金属管轴线上拉一根直径30至200微米的钨丝构成同轴电极结构，在同轴电极结构的外部套一个绝缘陶瓷管后放入真空室内，向真空室内通入氩气浓度占30-70％的氩气和甲烷或乙炔混合气体，在1Pa-103Pa的气压下，利用直流恒定电压源加负高压在细长金属管内产生稳定的圆筒状直流辉光等离子体，管内产生的圆筒状直流辉光等离子体的长度通过电压源电压进行控制，从而在整个细长金属管内表面沉积类金刚石薄膜。