[发明专利]一种压电厚膜驱动的微变形镜及其制备方法有效
| 申请号： | 200610167153.0 | 申请日： | 2006-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN101021617A | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | 褚家如;许晓慧;王翔;赵钢;冯艳;刘芳;刘勇;张晋弘 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;H01L41/09;H01L41/24 |
| 代理公司： | 合肥华信专利商标事务所 | 代理人： | 陈进 |
| 地址： | 230026*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明属于微变形镜及其加工制备领域，具体涉及一种基于压电膜驱动的微变形镜及其制备方法。该微变形镜包括由致动单元组成的微致动器阵列和镜面，其微致动器阵列是中心对称的正六边形结构，由单晶硅膜片构成的镜面通过光敏高聚物凸台与上电极连接。其制备过程包括制备硅衬底压电陶瓷基膜、利用湿法刻蚀法刻蚀硅衬底压电陶瓷基膜、用湿法刻蚀方法刻蚀硅衬底压电陶瓷厚膜其形状、在硅衬底压电陶瓷厚膜阵列上制备上电极阵列、在上电极阵列的上表面制备连接凸台并利用光敏高聚物将镜面固定安装到致动器阵列上。本微变形镜能驱动镜面产生较大的位移量，从而满足天文观测和视网膜成像等领域的要求；本制备方法工艺简单、成本低，具有良好的商业应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 驱动 变形 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压电厚膜驱动的微变形镜，包括由致动单元组成的微致动器阵列和镜面，其中的致动单元由硅衬底、带有上下电极的压电陶瓷膜和连接凸台组成，在硅衬底背面设有与压电陶瓷膜层相对应的孔，其特征在于，所述的微致动器阵列是中心对称的正六边形结构；所述压电陶瓷膜层的厚度为10-50微米；所述镜面由光敏高聚物构成的连接凸台与上电极连接。
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