[发明专利]一种压电厚膜驱动的微变形镜及其制备方法有效
| 申请号： | 200610167153.0 | 申请日： | 2006-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN101021617A | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | 褚家如;许晓慧;王翔;赵钢;冯艳;刘芳;刘勇;张晋弘 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;H01L41/09;H01L41/24 |
| 代理公司： | 合肥华信专利商标事务所 | 代理人： | 陈进 |
| 地址： | 230026*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 压电 驱动 变形 及其 制备 方法 | ||
【说明书】：
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