[发明专利]用于生成掩模的方法和设备有效
| 申请号： | 200610163581.6 | 申请日： | 2006-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN1955718A | 公开（公告）日： | 2007-05-02 |
| 发明（设计）人： | K·G·哈丁;X·钱;R·S·德穆思 | 申请（专利权）人： | 通用电气公司 |
| 主分类号： | G01N21/00 | 分类号： | G01N21/00;G01N21/95;G01N21/41;G01B11/00;G01B11/02;G01B11/24;G01M15/00;G01M15/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 李静岚;梁永 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于产生用在光测量系统(10)中的掩模(52)的方法(100)，该光测量系统包括用于把光投射到物体(12)表面上的光源(22)，和用于接收从该物体表面反射回来的光的成像系统。该方法包括确定(102)待检查物体的轮廓，和基于所确定轮廓产生(104)掩模，其中该掩模包括在其内部延伸的开口(172)，从光源处看来该开口的轮廓与物体的轮廓基本匹配。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 生成 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于产生用在光测量系统(10)中的掩模(52)的方法(100)，该光测量系统(10)包括用于把光投射到物体(12)表面上的光源(22)，和用于接收从该物体表面反射的光的成像系统，所述方法包括：确定(102)待检查物体的轮廓；和基于所确定的轮廓产生(104)掩模，其中该掩模包括在其内部延伸的开口(172)，从光源处看来该开口的轮廓与物体的轮廓基本匹配。
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