[发明专利]碳纳米管阵列的制备方法有效
| 申请号: | 200610157696.4 | 申请日: | 2006-12-20 |
| 公开(公告)号: | CN101205059A | 公开(公告)日: | 2008-06-25 |
| 发明(设计)人: | 陈卓;魏洋;姜开利;范守善 | 申请(专利权)人: | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
| 主分类号: | C01B31/02 | 分类号: | C01B31/02;B82B3/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 100084北京市海淀区清华*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 一种碳纳米管阵列的制备方法,其包括以下步骤:提供一基底;形成一光吸收层于上述基底表面;形成一催化剂层于上述光吸收层上;通入碳源气与载气的混合气体流经上述催化剂表面;以及,以激光束聚焦照射在上述基底表面从而生长碳纳米管阵列。 | ||
| 搜索关键词: | 纳米 阵列 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种碳纳米管阵列的制备方法,其包括以下步骤:提供一基底;形成一光吸收层于上述基底表面;形成一催化剂层于上述光吸收层上;通入碳源气与载气的混合气体流经上述催化剂表面;以及以激光束聚焦照射在上述基底表面从而生长碳纳米管阵列。
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