[发明专利]一种耐磨损抗腐蚀且高透明度的镀膜的制作方法无效
| 申请号： | 200610151713.3 | 申请日： | 2006-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN101139705A | 公开（公告）日： | 2008-03-12 |
| 发明（设计）人： | 何主亮;罗文麟 | 申请（专利权）人： | 深圳成霖洁具股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/513 | 分类号： | C23C16/513;C23C16/30;C23C16/52 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 于辉 |
| 地址： | 518110广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种耐磨损抗腐蚀且透明度高的镀膜的制作方法，包括以下步骤：(a)在反应腔体中引入含有呈气态的硅氧烷类、氧化剂和输送气体的反应源；和(b)对该反应腔体内的阴极板(或称作挂具)应用双极脉冲电压，以使该反应源裂解成等离子体气体并在设置在所述阴极板(或称作挂具)的基材上形成耐磨损抗腐蚀且透明度高的镀膜；其中，所述双极脉冲电压的工作比为从40％至95％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耐磨 腐蚀 透明度 镀膜 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种耐磨损抗腐蚀且透明度高的镀膜的制作方法，包括以下步骤：(a)在反应腔体中引入含有呈气态的硅氧烷类、氧化剂和输送气体的反应源；和(b)对所述反应腔体的阴极板应用双极脉冲电压，以使所述反应源裂解成等离子体气体，并在设置在所述阴极板的基材上形成耐磨损抗腐蚀且透明度高的镀膜；其中，所述双极脉冲电压的工作比是在40％至95％之间。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
