[发明专利]减压处理装置

摘要

本发明提供一种可在大型化的玻璃基板上形成均匀被膜的减压处理装置。从主排气管(8、8)分支出沿箱状主体(3)的上表面延伸的副排气管(9)……，在各副排气管(9)的前端安装有向箱状主体(3)内的减压处理空间开口的吸引部(10)……。这些吸引部(10)被配置在俯视观察时以上述轴线为基准左右对称的位置上。通过在这样的位置上配置吸引部(10)……，即使在短时间内将减压处理空间抽成真空，也不会产生温度不均等问题。

主权项

1.一种减压处理装置，具有：将内部作为减压处理空间的箱状主体、与上述箱状主体的轴线平行且左右分开地配置的两根主排气管、从上述主排气管分支出来且沿箱状主体延伸的副排气管、以及设置在上述副排气管的前端的吸引部，该减压处理装置的特征在于，上述吸引部以上述轴线为基准配置在左右对称的位置上。