[发明专利]显示器件及其制造方法

摘要

本发明揭示一种显示器件及其制造方法。一般希望在显示器件中将低电阻材料用于配线，但是到现在为止没有存在形成配线的有效方法。本发明的结构之一包括以下工序：形成第一导电膜；在第一导电膜上选择性地形成抗蚀剂；在第一导电膜及抗蚀剂上形成第二导电膜；在去除抗蚀剂的同时去除形成在抗蚀剂上的第二导电膜；形成第三导电膜，使其覆盖形成在第一导电膜上的第二导电膜；选择性地蚀刻第一导电膜及第三导电膜；形成多个布线及电极。由此，由于可以在大型面板中形成用低电阻材料的布线，因此可以解决信号延迟等问题。

主权项

1.一种显示器件的制造方法，其特征在于，包括以下工序：形成第一导电膜；在所述第一导电膜上选择性地形成抗蚀剂；在所述第一导电膜及所述抗蚀剂上形成第二导电膜；通过去除所述抗蚀剂，去除形成在所述抗蚀剂上的所述第二导电膜；形成第三导电膜，使其覆盖形成在所述第一导电膜上的所述第二导电膜；以及选择性地蚀刻所述第一导电膜及所述第三导电膜，以形成配线。