[发明专利]制程机台监控的离线量测的方法与系统有效
| 申请号： | 200610145300.4 | 申请日： | 2006-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN1983089A | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | 林志聪;林水典 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04;G05B19/048 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种制程机台监控的离线量测的方法与系统。提供一自我调整监控规则数据库，用以储存用于执行晶圆批量处理的预定监控规则。定义用于执行该晶圆批量处理的监控数据，根据选取自该自我调整监控规则数据库中的监控规则取得所欲监控数据，根据该监控数据并利用一制程机台执行一离线量测操作以产生监控结果，并且根据该监控结果比较该选取的监控规则与数据以判断是否发生异常状态。若否，则利用该制程机台执行晶圆批量处理。若是，则结束该制程机台的晶圆批量处理。接着反馈一失效通知，并且重新定义监控规则以更新该自我调整监控规则数据库。本发明可改善晶圆批量处理的效率与流程，减少生产损失。 | ||
| 搜索关键词： | 机台 监控 离线 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种制程机台监控的离线量测系统，其特征在于，该制程机台监控的离线量测系统适用于一半导体制程，包括：一数据收集单元，其更包括：一第一数据库，用以储存与该半导体制程相关的预定监控规则；以及一第二数据库，用以储存与该半导体制程相关的预定监控数据；一制程机台，耦接于该数据收集单元，用以根据自该第一数据库选取的监控规则与自该第二数据库选取的监控数据执行一离线量测操作以产生监控结果，其中该监控数据是根据该选取的监控规则而取得；一限制系统，耦接于该数据收集单元，用以取得该监控结果，根据该监控结果比较该选取的监控规则与该监控数据以判断是否发生异常状态，若未发生异常状态，则利用该制程机台执行晶圆批量处理，若发生异常状态，则结束该制程机台的晶圆批量处理，反馈一失效通知，并且重新定义监控规则以更新该第一数据库。
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