[发明专利]非破坏检查装置和非破坏检查方法无效
| 申请号： | 200610143923.8 | 申请日： | 2006-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN1959395A | 公开（公告）日： | 2007-05-09 |
| 发明（设计）人： | 二川清 | 申请（专利权）人： | 恩益禧电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N25/72 | 分类号： | G01N25/72;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陆锦华;李亚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提高非破坏检查的效率。代替现有的在被检查体上二维地扫描光点的方法，通过在被检查体上在X方向和Y方向各扫描一次光线，得到两个一维图像，通过运算从取得的两个一维图像再构筑二维图像。从而，被检查体和光线的相对扫描，只需要用于得到第一和第二一维图像的两次扫描即可，所以扫描时间和现有相比得到大幅度的缩短。 | ||
| 搜索关键词： | 破坏 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种非破坏检查方法，其特征在于，在被检查体上照射线状的光，即光线，在和上述光线交叉的第一方向，由上述光线对上述被检查体相对地进行扫描，取得第一一维图像，然后，在和上述第一方向交叉的第二方向，由光线对上述被检查体相对地进行扫描，取得第二一维图像。
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