[发明专利]图案形成方法及液滴喷出装置无效

专利信息
申请号: 200610141471.X 申请日: 2006-09-29
公开(公告)号: CN1944051A 公开(公告)日: 2007-04-11
发明(设计)人: 三浦弘纲 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: B41J2/01 分类号: B41J2/01;G06K15/10;G02F1/133;H05B33/10
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 汪惠民
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及一种图案形成方法及液滴喷出装置,在与液滴喷头的基板对置的面设有能反射激光的喷嘴形成面,且该喷嘴形成面上设有反射防止膜。被反射防止膜的表面反射的反射光和被喷嘴形成面反射的反射光互相干涉,由此,由反射面及喷嘴形成面反射的激光被消弱。
搜索关键词: 图案 形成 方法 喷出 装置
【主权项】:
1、一种图案形成方法,从设于与基板的表面相对的喷嘴形成面的喷 嘴向所述基板喷出含图案形成材料的液滴,并对着落于同一基板的表面的 液滴照射激光而形成图案,其特征在于: 通过设于所述喷嘴形成面的反射抑制构件,接受由所述基板反射的激 光,抑制在所述喷嘴形成面的激光的反射。
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