[发明专利]供电连接器以及具有该供电连接器的静电卡盘装置有效
申请号: | 200610128942.3 | 申请日: | 2006-09-04 |
公开(公告)号: | CN1945905A | 公开(公告)日: | 2007-04-11 |
发明(设计)人: | 川濑律;长谷川雄一;八木博 | 申请(专利权)人: | 株式会社巴川制纸所 |
主分类号: | H01R24/00 | 分类号: | H01R24/00;H02N13/00;H01L21/687 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 | 代理人: | 陈伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供一种供电连接器和具有该供电连接器的静电卡盘装置,该供电连接器即使在使装置长时间在真空下动作的情况下,也能稳定地维持真空状态,能够在交替反复的进行大气和真空状态的作业时防止空气的出入、防止供电连接器与装置主体的接点部的真空放电、并且能够得到均一的品质。供电连接器(100)连接具有导线(31)和覆盖层(32)的引线(30),所述覆盖层以使导线在前端延伸并露出的方式覆盖导线,其特征在于,具有:连接器主体(10),其形成有所述引线所插入的插入孔(13);供电针(20),其安装于连接器主体、并被与所述导线电连接,在所述覆盖层的端部乃至从该端部延伸的导线的一部分所处的位置处,形成有充填着树脂(60)的树脂充填部(12)。 | ||
搜索关键词: | 供电 连接器 以及 具有 静电 卡盘 装置 | ||
【主权项】:
1.一种供电连接器,其连接具有导线和覆盖层的引线,所述覆盖层以使所述导线在其前端延伸并露出的方式覆盖所述导线,其特征在于,具有:连接器主体,其形成有所述引线所插入的插入孔;供电针,其安装于所述连接器主体、并被与所述导线电连接,在所述覆盖层的端部乃至从该端部延伸的导线的一部分所处的位置处,形成有充填着树脂的树脂充填部。
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