[发明专利]一种用稻壳制备电子级球形硅微粉的方法无效
申请号: | 200610123588.5 | 申请日: | 2006-11-16 |
公开(公告)号: | CN1962438A | 公开(公告)日: | 2007-05-16 |
发明(设计)人: | 王卫星 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | C01B33/113 | 分类号: | C01B33/113;C01B33/18 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李卫东 |
地址: | 510640广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种用稻壳制备电子级球形硅微粉的方法,包括如下步骤,前处理:稻壳干燥后粉碎成20目以下的稻壳粉,将100质量份的稻壳粉加入400质量份浓度为5~25%的氧化性酸性水溶液中,在80~300℃温度条件下刻蚀30~200分钟,水洗后干燥;热分解:在氧气或空气氛围下,在600~1000℃温度条件下,热解30~300分钟;后处理:在反应釜中,加入0.01~5质量份的结构控制剂后在60~300℃的温度下处理30~300分钟,水洗干燥后制备电子级球形硅微粉。该方法能生产纯度达99.999%、无放射性元素、粒径可控的电子级球形硅微粉,而且本发明的方法具有工艺简单、成本低、原料来源广、可再生的优点。 | ||
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【主权项】:
1、一种用稻壳制备电子级球形硅微粉的方法,其特征在于包括以下步骤:(1)前处理:稻壳充分干燥后粉碎成20目以下的稻壳粉,将100质量份的稻壳粉加入400质量份浓度为5~25%的氧化性酸性水溶液中,在80~300℃温度条件下刻蚀30~200分钟,水洗后干燥;(2)热分解:将步骤(1)所得产物在氧气或空气氛围下,在600~1000℃温度条件下,热解30~300分钟;(3)后处理:将步骤(2)所得产物在反应釜中,加入0.01~5质量份的结构控制剂后在60~300℃的温度下处理30~300分钟,水洗干燥后,制备电子级球形硅微粉。
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