[发明专利]感应耦合等离子体对准装置及方法有效
| 申请号： | 200610115467.6 | 申请日： | 2006-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN1913093A | 公开（公告）日： | 2007-02-14 |
| 发明（设计）人： | 菲利普·马里奥特;蒂莫西·A·怀特丘奇;乔纳森·H·布拉德福德;吉姆·斯特林格 | 申请（专利权）人： | 热电子公司 |
| 主分类号： | H01J49/10 | 分类号： | H01J49/10;H01J49/04;H05H1/00;G01N21/73 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种感应耦合等离子体对准装置，包括：线圈(10)，用于在气体中产生感应耦合等离子体，该线圈具有第一轴线(100)；炬(20)，其至少部分地穿过所述线圈，该炬具有第二轴线(200)；以及调节机构(80，110)，用于调节所述炬相对于所述线圈的位置，从而改变所述第一轴线和所述第二轴线的相对配置。所述调节机构可以调节所述第二轴线与所述第一轴线之间的角度和/或距离。所述第二轴线可保持基本平行于所述第一轴线，并且所述调节机构调节所述第二轴线与所述第一轴线之间的距离。所述线圈优选地相对于用于对来自等离子体的光子或离子进行采样的采样孔保持基本固定在适当的位置处。 | ||
| 搜索关键词： | 感应 耦合 等离子体 对准 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种感应耦合等离子体对准装置，包括：线圈，用于在气体中产生感应耦合等离子体，该线圈具有第一轴线；炬，其至少部分地穿过所述线圈，该炬具有第二轴线；以及调节机构，用于调节所述炬相对于所述线圈的位置，从而改变所述第一轴线和所述第二轴线的相对配置。
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