[发明专利]感应耦合等离子体对准装置及方法有效
| 申请号： | 200610115467.6 | 申请日： | 2006-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN1913093A | 公开（公告）日： | 2007-02-14 |
| 发明（设计）人： | 菲利普·马里奥特;蒂莫西·A·怀特丘奇;乔纳森·H·布拉德福德;吉姆·斯特林格 | 申请（专利权）人： | 热电子公司 |
| 主分类号： | H01J49/10 | 分类号： | H01J49/10;H01J49/04;H05H1/00;G01N21/73 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 感应 耦合 等离子体 对准 装置 方法 | ||
【说明书】：
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