[发明专利]导电抗反射涂层

摘要

本发明涉及一种导电抗反射涂层，该涂层带有常规的、夹在两个四分之一波长低折射层中间的半波长高折射层，其中高折射半波长层形成导电层，并且对层材料进行选择以使折射率比值(高折射率/低折射率)在1.45和1.52之间，从而为抗反射涂层提供(较)宽的带宽。优选的，半波长导电高折射层包括氧化铟钛，以提供小于20Ω/sq的薄膜电阻。

主权项

1.一种导电抗反射涂层，其为具有中心波长的光提供抗反射作用，包括：第一四分之一波长叠层，其光学厚度大致为所述中心波长的四分之一，所述第一四分之一波长叠层包含具有折射率的第一低折射层；二分之一波长叠层，其光学厚度大致为所述中心波长的二分之一，所述二分之一波长叠层包含第一高折射层，所述第一高折射层是透明的、导电的和具有折射率；第二四分之一波长叠层，其光学厚度大致为所述中心波长的四分之一，所述第二四分之一波长叠层包含具有折射率折射的第二低折射层；其中，所述第一高折射层的折射率和所述第一低折射层的折射率比值在1.45和1.55之间；并且其中，所述第一高折射层包括折射率在2.0和2.15之间的氧化铟钛ITiO，由此，所述涂层具有小于20Ω/sq的薄膜电阻，并在440-675nm之间提供小于0.55％的反射比。