[发明专利]具有用于钉扎改善的各向异性被钉扎层的磁致电阻传感器无效

专利信息
申请号: 200610109106.0 申请日: 2006-08-03
公开(公告)号: CN1913190A 公开(公告)日: 2007-02-14
发明(设计)人: 詹姆斯·M·弗赖塔格;马斯塔法·M·平纳巴西 申请(专利权)人: 日立环球储存科技荷兰有限公司
主分类号: H01L43/08 分类号: H01L43/08;H01L43/12
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 张波
地址: 荷兰阿*** 国省代码: 荷兰;NL
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摘要: 发明涉及具有磁各向异性被钉扎层结构的磁致电阻传感器。该被钉扎层结构形成在籽层之上,所述籽层具有一表面,该表面被处理从而使所述籽层的该表面具有各向异性粗糙度特征。所述各向异性粗糙度在被钉扎层中引起磁各向异性。所述被处理的籽层还允许被钉扎层维持稳定的钉扎而不需要厚AFM层,从而减小间隙尺寸。
搜索关键词: 具有 用于 改善 各向异性 被钉扎层 致电 传感器
【主权项】:
1.一种磁致电阻传感器,包括:衬底;籽层,形成在所述衬底上,所述籽层具有配置以各向异性粗糙度的表面;磁被钉扎层结构,形成在所述籽层的所述表面上;磁自由层;以及间隔层,夹在所述自由层和所述被钉扎层结构之间。
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