[发明专利]减压干燥装置及基板干燥方法无效
| 申请号： | 200610108181.5 | 申请日： | 2006-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN1928475A | 公开（公告）日： | 2007-03-14 |
| 发明（设计）人： | 柿村崇 | 申请（专利权）人： | 大日本网目版制造株式会社 |
| 主分类号： | F26B5/04 | 分类号： | F26B5/04;F26B25/00;B05D3/12 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐恕 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种防止在对基板上的处理液进行干燥时产生处理液不匀的减压干燥装置。该减压干燥装置具有2个可以升降的支承板和3个被固定配置的固定板。在干燥处理时，支承板的上表面和固定板的上表面的高度一致，形成一个支承基板的支承面。在干燥处理时，该支承面面接触基板的整个背侧，支承基板。因此，在基板的背侧不形成空间，不产生气流，可以防止处理液不匀。另外，在交接基板时，支承板上升，由支承板的上表面面接触基板的背侧来支承基板。因此，不必形成支承销的贯通孔等，可以简化装置结构，也可以防止以贯通孔为起因的处理液不匀。 | ||
| 搜索关键词： | 减压 干燥 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种减压干燥装置，对处理室内的气体环境进行减压，来干燥基板上的处理液，其特征在于，具有：支承机构，其在干燥上述基板上的处理液时，由处理支承面与至少存在上述处理液的产品区域的整个背侧进行面接触，来支承上述基板；交接机构，其由交接支承面进行面接触来支承上述基板，同时，在与上述处理室外的搬运机构之间进行上述基板的交接，上述交接支承面为上述处理支承面的至少一部分。
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