[发明专利]夹持基板的静电卡盘以及使用其的液晶显示面板基板粘接装置和方法无效
| 申请号： | 200610090498.0 | 申请日： | 2006-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1975541A | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | 金钟元 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1339 | 分类号： | G02F1/1339;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种夹持基板的静电卡盘(ESC)，其被细为至少三个静电部件组以均匀夹持基板。还公开了采用静电卡盘用于液晶显示(LCD)面板的基板粘接装置和方法。该ESC包括至少三个静电部件组，其采用静电夹持力来夹持基板，该静电夹持力通过将与静电部件组相关的不同电压施加到静电部件上分别产生，并且当电压切断时释放所夹持的基板。 | ||
| 搜索关键词： | 夹持 静电 卡盘 以及 使用 液晶显示 面板 基板粘接 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于静电夹持基板的静电卡盘，包括：至少三个静电部件组，其采用静电夹持力来夹持基板，该静电夹持力通过将与静电部件组相关的不同电压施加到静电部件上而分别产生，并且当电压切断时释放所夹持的基板。
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