[发明专利]收集及处理从制程机台撷取的电子数据的系统、制造系统无效
| 申请号： | 200610090157.3 | 申请日： | 2006-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1892522A | 公开（公告）日： | 2007-01-10 |
| 发明（设计）人： | 周志明 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/048 | 分类号： | G05B19/048 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 台湾省新竹科学*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种收集及处理从制程机台撷取的电子数据的系统、制造系统，其包括一数据收集装置以及一处理器。上述数据收集装置，其是用以透过网络从一制程机台收集制程数据，其中该制程数据是非半导体设备通讯标准界定的数据。该处理器，其是用以决定收集的该制程数据是否符合一预定条件，其中该预定条件是依据该制程数据的历史记录数据而定。本发明可收集在制程程序执行过程中产生的非SECS制程数据，并从中筛选及侦测出对应于制程事件的事件数据，进而依据该事件数据进行机台的即时监视与控制。 | ||
| 搜索关键词： | 收集 处理 机台 撷取 电子 数据 系统 制造 | ||
【主权项】：
1.一种收集及处理从制程机台撷取的电子数据的系统，包括：一数据收集装置，其是用以透过网络从一制程机台收集制程数据，其中该制程数据是非半导体设备通讯标准界定的数据；以及一处理器，其是用以决定该收集的该制程数据是否符合一预定条件，其中该预定条件是依据该制程数据的历史记录数据而定。
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