[发明专利]具有疏水层的电容式麦克风有效
| 申请号： | 200610080141.4 | 申请日： | 2002-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN1849016A | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | 伊比周翰森;本特N·拉森;马撒斯摹棱本;奥托P·H·让伯科 | 申请（专利权）人： | 桑尼昂敏姆斯公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 钟晶 |
| 地址： | 丹麦*** | 国省代码： | 丹麦;DK |
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| 摘要： | 一种制备具有疏水层的电容式麦克风的至少部分振动膜和至少部分背板的方法，可以消除所述振动膜与所述背板之间的粘滞。疏水层通过背板上，振动膜上和/或振动膜与背板之间的若干开孔提供。甚至微观结构的内部凹部，也提供有均匀的结构规整的疏水层。疏水层以液相或气相的方式分布。该方法可以在正常连续生产过程中随意应用。而且，还提供一个设有疏水层的MEMS电容式麦克风。麦克风的振动膜与背板之间的静态距离小于10μm。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 疏水 电容 麦克风 | ||
【主权项】：
1.一种微电子机械麦克风，包括：振动膜和背板，其间的静态距离小于10μm，相应内表面形成电容器，在背板和/或振动膜上的若干开孔，振动膜与背板由疏水性或亲水性材料制备，涂覆有疏水性分子单层，其中，疏水性分子单层的分子是交联的，并且多相键连到振动膜与背板的表面。
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