[发明专利]连续OLED涂布机无效
| 申请号： | 200610076380.2 | 申请日： | 2006-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN1854330A | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | 迪特尔·曼茨;马库斯·本德尔;乌韦·霍夫曼;迪特尔·哈斯;乌尔里希·恩勒特;海诺·莱尔;阿希姆·古克 | 申请（专利权）人： | 应用菲林股份有限两合公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C16/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 徐年康 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及特别是用于连续生产设有有机电致发光材料(OLED)的基板、尤其是OLED显示器、屏幕、面板或其它发光元件的方法和装置，该装置具有真空空间和用于输送待涂布的基板且至少部分沿着真空空间布置而且具有用于基板的运载工具的输送装置，所述输送装置包括至少一个用于输送运载工具的环形回路，该真空空间分成至少两个部分，即，第一部分(3)和第二部分(4)，在第一部分(3)中设有输送装置的用于沿着第一方向(基板输送方向)输送运载工具的第一部分，在第二部分(4)中设有输送装置的用于沿着第二方向(运载工具返回输送方向)输送运载工具的第二部分。因此，在返回输送期间直接有利地清洁用于构造OLED涂层所需的掩模，并且不需要任何掩模储存。 | ||
| 搜索关键词： | 连续 oled 涂布机 | ||
【主权项】：
1.用于尤其是连续生产设有有机电致发光材料(OLED)的基板、特别是OLED显示器、屏幕、面板或其它发光元件的装置，它具有一真空空间和一输送装置，该输送装置用于输送待涂布的基板并且至少部分沿着该真空空间布置，而且具有用于基板的运载工具，其特征在于，所述输送装置包括至少一个用于输送运载工具(40)的环形回路(140)，并且该真空空间被分成至少两个部分，即第一部分(3，103)和第二部分(4，104)，在第一部分(3，103)中设有输送装置的用于沿着第一方向(基板输送方向)输送运载工具(40)的第一部分，在第二部分(4，104)中设有输送装置的用于沿着第二方向(运载工具返回输送方向)输送运载工具的第二部分。
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