[发明专利]玻璃基板的除电装置无效
| 申请号： | 200610073213.2 | 申请日： | 2006-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN101021626A | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | 稻叶仁;藤野正春;福地泰彦;中岛一义;古知正人 | 申请（专利权）人： | 株式会社未来视野 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;H05F3/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 杜日新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种玻璃基板的除电装置，给刚抬升玻璃基板后的狭小间隙内照射软X射线。将软X射线除电装置14产生的软X射线导入间隔d，用软X射线光轴监视器16检测，通过用该检测输出调整安装位置调整装置15，对准光轴。接着，根据数据库19的信息，控制装置17边控制间隔调整装置13边除电。此外，也可边用控制装置17判断电位计18测出的带电电位是否在允许值以内，边用间隔调整装置13控制间隔d边除电。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 装置 | ||
【主权项】：
1、一种除电装置，包括：载置台，用于承载玻璃基板；间隔调整装置，用于从载置台上抬升玻璃基板；软X射线除电装置，用于使软X射线贯穿抬升后的玻璃基板与载置台之间的间隔，其特征在于，配置有：软X射线光轴监视器，用于检测前述软X射线；安装位置调整装置，用于根据该软X射线光轴监视器的检测输出，调整前述软X射线除电装置的安装位置。
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