[发明专利]一种离子源自动引束方法有效
| 申请号： | 200610072965.7 | 申请日： | 2006-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN1862758A | 公开（公告）日： | 2006-11-15 |
| 发明（设计）人： | 罗宏洋;孙勇;孙雪平;戴习毛 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子源自动引束方法，包括如下步骤：(1)灯丝加热、稳定：将灯丝电源和阳极电源电压加至设定的数值，等待离子源真空稳定并达到送气真空标准；(2)送气：开启注入元素相应的送气阀门及总送气阀门，同时开启相应的流量计，并检测压力，观察流量的变化，稳定后进入启弧的过程；(3)启弧：设置离子源部分的偏置电源，调节送气量，获得稳定的弧流；(4)分析器调整：计算出分析器电流值，设置并调整分析器电流在测束杯获得稳定的极大值电流；(5)束流优化：根据元素种类和分析光栏的物理特性，调整弧流、送气量、分析光栏使得测束杯束流进入设置的范围。本发明可以实现全自动引束，无需人工干预；引束速度快。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子源 自动 方法 | ||
【主权项】：
1.一种离子源自动引束方法，包括如下步骤：(1)灯丝加热、稳定：将灯丝电源和阳极电源电压加至设定的数值，等待离子源真空稳定并达到送气真空标准；(2)送气：开启注入元素相应的送气阀门及总送气阀门，同时开启相应的流量计，并检测压力，等待1分钟后，观察流量的变化：变化小于5％，稳定后进入启弧的过程；(3)启弧：设置离子源部分的偏置电源，调节送气量，获得稳定的弧流；(4)分析器调整：计算出分析器电流值，设置并调整分析器电流在测束杯获得稳定的极大值电流；(5)束流优化：根据元素种类和分析光栏的物理特性，调整弧流、送气量、分析光栏使得测束杯束流进入设置的范围。
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