[发明专利]金属-绝缘物-金属的变压器及其制造方法有效
申请号: | 200610071441.6 | 申请日: | 2006-03-28 |
公开(公告)号: | CN101047059A | 公开(公告)日: | 2007-10-03 |
发明(设计)人: | 严国辉;吴昌庆;黄志扬 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
主分类号: | H01F41/00 | 分类号: | H01F41/00;H01F27/28;H01F27/32;H01F17/00;H01F19/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波;侯宇 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种金属-绝缘物-金属的变压器的制造方法,其适用于同时形成一金属-绝缘物-金属电容器与变压器。此制造方法为,先提供已形成有至少一介电层的一基板。然后,于基板上形成图案化的金属-绝缘物-金属电容器的第一金属层,且同时形成变压器的第一金属线圈。接着,形成一绝缘层,以覆盖基板、第一金属层与第一金属线圈。之后,于绝缘层上形成图案化的金属-绝缘物-金属电容器的第二金属层,且同时形成变压器的第二金属线圈。 | ||
搜索关键词: | 金属 绝缘 变压器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种金属-绝缘物-金属的变压器的制造方法,适用于同时形成一金属-绝缘物-金属电容器与该变压器,该制造方法包括:提供已形成有至少一介电层的一基板;于该基板上形成图案化的该金属-绝缘物-金属电容器的一第一金属层,且同时形成该变压器的一第一金属线圈;形成一绝缘层,以覆盖该基板、该第一金属层与该第一金属线圈;以及于该绝缘层上形成图案化的该金属-绝缘物-金属电容器的一第二金属层,且同时形成该变压器的一第二金属线圈。
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