[发明专利]长波长微机械可调谐滤波器的结构和制作方法无效
| 申请号： | 200610067135.5 | 申请日： | 2006-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN101051162A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 吴旭明;王小东;谭满清 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02F1/21 | 分类号： | G02F1/21 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种长波长微机械可调谐滤波器的结构，包括：一n型砷化镓衬底；一缓冲层，该缓冲层制作在衬底上；一下布拉格反射镜，该下布拉格反射镜制作在缓冲层上，是滤波器的下反射镜；一n型欧姆接触层，该n型欧姆接触层制作在下布拉格反射镜上，用来制作下电极；一空气腔，该空气腔制作在n型欧姆接触层上，用于可调谐；一四臂固支梁，该四臂固支梁制作在空气腔上；一上布拉格反射镜，该上布拉格反射镜制作在缓冲层上，是滤波器的上反射镜；一p电极，该p电极制作在四臂固支梁的上面；一n电极，该n电极制作在n型欧姆接触层的上面。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 微机 调谐 滤波器 结构 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种长波长微机械可调谐滤波器的结构，其特征在于，该结构包括：一衬底，该衬底为n型砷化镓衬底；一缓冲层，该缓冲层制作在衬底上；一下布拉格反射镜，该下布拉格反射镜制作在缓冲层上，是滤波器的下反射镜；一n型欧姆接触层，该n型欧姆接触层制作在下布拉格反射镜上，用来制作下电极；一空气腔，该空气腔制作在n型欧姆接触层上，用于可调谐；一四臂固支梁，该四臂固支梁制作在空气腔上；一上布拉格反射镜，该上布拉格反射镜制作在缓冲层上，是滤波器的上反射镜；一p电极，该p电极制作在四臂固支梁的上面；一n电极，该n电极制作在n型欧姆接触层的上面。
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